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List of publications of Haak, Ulrich (3)

2008 | Conference contribution | published
100 nm half-pitch double exposure KrF lithography using binary masks
Sebastian Geisler, Joachim Max Bauer, Ulrich Haak, David Stolarek, K. Schulz, H. Wolf, W. Meier, M. Trojahn, E. Matthus (2008)
Proceedings of SPIE : Optical Microlithography XXI (pp. 69241Z).
THpub | DOI
2008 | Conference contribution | published
Double exposure technology for KrF lithography
Sebastian Geisler, Joachim Max Bauer, Ulrich Haak, David Stolarek, K. Schulz, H. Wolf, W. Meier, M. Trojahn, E. Matthus, Harald J. Beyer, G. Old, S. Marschmeyer, B. Kuck (2008)
Proceedings of SPIE : 24th European Mask and Lithography Conference (pp. 679203).
THpub | DOI
2008 | Conference contribution | published
Optical proximity correction for 0.13 μm SiGe:C BiCMOS
Sebastian Geisler, Joachim Max Bauer, Ulrich Haak, Ulrich A. Jagdhold, R. Pliquett, E. Matthus, R. Schrader, H. Wolf, U. Baetz, Harald J. Beyer, Martin Niehoff (2008)
Proceedings of SPIE : 24th European Mask and Lithography Conference (pp. 679210).
THpub | DOI