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FIB preparation and TEM Analytics on AlSi1 Bond Pads

Title:
FIB preparation and TEM Analytics on AlSi1 Bond Pads
Year:
2006
Publication type:
Journal article
Journal:
Practical Metallography
ISSN:
2195-8599
Number:
10
Volume:
43
Pages:
520-532
Language:
English
Document status:
Published
PubListerURL:
https://publister.bib.th-wildau.de/publister/public/publication/2194
Geißler, U., Engelmann, H., Urban, I., & Reichl, H. (2006). FIB preparation and TEM Analytics on AlSi1 Bond Pads Practical Metallography. 43 (10), 520-532.
@article{2194,
    author           = {Geißler, Ute and Engelmann, Hans-Jürgen and Urban, Ingrid and Reichl, Herbert},
    title            = {FIB preparation and TEM Analytics on AlSi1 Bond Pads},
    journal          = {Practical Metallography},
    year             = {2006},
    volume           = {43},
    number           = {10},
    pages            = {520-532},
    doi              = {10.3139/147.100317},
}


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